樣品激發(fā)之前必須將其磨光。對于鋼和鑄鐵（顆粒大小，對鋼是60到80之間，對鑄鐵是40到60之間），建議用適合于儀器樣品的砂紙干磨。

•砂紙一定不要被高合金含量的樣品污染（例如：應(yīng)該先用于低合金樣品，再用于高合金樣品）。

•樣品必須在清潔的、規(guī)范的砂紙上磨（沒有先前激發(fā)處理留下的激發(fā)的痕跡）。樣品表面不能被拋光（適時(shí)更新用過的砂紙）。
•必須確保樣品在磨的過程中沒有過熱（樣品應(yīng)該與砂紙只有短暫的接觸）。如果需要，樣品應(yīng)該用水冷卻，再干燥，再盡可能短的時(shí)間干磨。

•軟質(zhì)樣品（例如：銅、鋁、鋅、鉛）必須車削表面或用酒精濕磨。

•磨好的表面一定不要玷污（例如用手觸摸）。